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氧化铝陶瓷手臂机械手晶圆搬运

别名:陶瓷机械手臂 陶瓷硅晶片搬运叉
描述
氧化铝陶瓷手臂,也称为晶圆搬运陶瓷机械手或陶瓷硅晶片搬运叉,是一种高性能的半导体设备组件。其设计考虑到了半导体制造中的苛刻要求。通过其耐高温、耐磨损、化学稳定性及优良的电绝缘性能,凭借这些特性,氧化铝陶瓷手臂在全球半导体制造行业中发挥着不可替代的作用。
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氧化铝陶瓷手臂机械手晶圆搬运
*部分内容与参数仅供参考,我司可根据客户需求进行陶瓷性能调配与加工定制
设计特点

优秀的耐热性

氧化铝陶瓷可以在高达1650℃的温度下稳定工作,这对于半导体制造中常见的高温环境至关重要。

高度耐磨损性和化学稳定性

这种材料对机械磨损和化学腐蚀具有极高的抵抗力,保证了长时间的使用寿命和稳定性。

非导电性

氧化铝的非导电性质确保在处理敏感电子组件时,不会产生静电干扰,这对于避免微小电路损坏至关重要。

几何设计的优化

具有多个安装孔和两个长条形手柄,使其能够轻松固定或与其他机械设备连接,同时保持高精度的操作能力。

表面处理

平滑的表面处理减少了摩擦,提高了处理过程中的精度和可靠性。

应用领域

氧化铝陶瓷手臂在半导体制造中的应用广泛,主要应用领域包括:

硅晶圆搬运

在极端条件下准确地搬运和定位硅晶圆,确保制造过程的高效与准确。

敏感电子元件的处理

在不产生静电的条件下操作,保护电子元件的完整性和功能性。

高温和腐蚀性环境下的操作

在化学气体和高温环境下的稳定性使其在特殊工艺中非常有用,如在蚀刻和清洗过程中。

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深圳市海德精密陶瓷有限公司

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精密陶瓷产品定制流程

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第二步
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第三步
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第五步
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第六步
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